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SiC激光退火設(shè)備

產(chǎn)品特點(diǎn) 1.整機(jī)模塊化設(shè)計(jì)與集成，兼容4、6、8英寸薄片晶圓；
2.集成自研成熟先進(jìn)激光整形技術(shù)，光斑能量高度均勻、穩(wěn)定；
3.退火后表面均勻、平整，優(yōu)秀的電學(xué)特性及表面形貌特征表現(xiàn)；
4.嚴(yán)格控制腔體含氧量，有效控制表面碳析出量和分布；
5.配置監(jiān)控與補(bǔ)償系統(tǒng)，監(jiān)測(cè)光學(xué)能量穩(wěn)定性和非退火面溫度；
6.配備EFEM傳輸系統(tǒng)，整機(jī)符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)，支持SECS-GEM通信。

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產(chǎn)品應(yīng)用

適用于對(duì)重?fù)诫s碳化硅（SiC）表面沉積的過渡金屬進(jìn)行退火，形成良好的歐姆接觸。

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產(chǎn)品參數(shù)

可加工品圓尺寸	4inch、6inch、8inch
薄片退火	支持
光斑整形	平頂光
光斑均勻性	>95%
能量穩(wěn)定性	≤1%
比電阻接觸率	≤5×10^(-5)Ω.cm2
表面溫度	Amnealedgurtece>1500℃.NOn=ann日ledsurlaco<100℃
腔體含氧量	N2/Ar： 99.99%，<100ppm@25s
運(yùn)動(dòng)平臺(tái)精度	直線度：±1μm 重復(fù)定位精度：±1μm
品圓傳輸	Automatic transferring (compatible to wafer or wafer/w carrier)

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解決方案

新能源行業(yè)已發(fā)展成為全球經(jīng)濟(jì)支柱產(chǎn)業(yè)，為更好地提供新能源產(chǎn)業(yè)鏈服務(wù)，向新能源行業(yè)縱深方向延伸，積極主動(dòng)地融入新能源時(shí)代發(fā)展潮流

國(guó)家能源局新能源和可再生能源司新能源處處長(zhǎng)邢翼騰：“在過去的一年里，中國(guó)的光伏行業(yè)立足于新發(fā)展階段，產(chǎn)業(yè)優(yōu)勢(shì)持續(xù)增強(qiáng)，依舊保持

深圳市大族半導(dǎo)體裝備科技有限公司主要研究應(yīng)用于硅、碳化硅、砷化鎵、氮化鎵、陶瓷、藍(lán)寶石、玻璃、柔性薄膜和金屬等材料的加工工藝，

大族數(shù)控是全球PCB專用生產(chǎn)設(shè)備領(lǐng)域工序解決方案布局最為廣泛的企業(yè)之一；覆蓋常規(guī)剛性多層板、高密度互聯(lián)板(HDI)、類載板(S

激光作為一種新型技術(shù)，具有精度高、速度快、不對(duì)基體造成損害等特點(diǎn)，在電子信息產(chǎn)品生產(chǎn)過程中，激光技術(shù)在產(chǎn)品的體積優(yōu)化以及品質(zhì)提

激光切割在機(jī)械五金行業(yè)的應(yīng)用方案非常廣泛，可以在不同的領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)不同的功能，提高生產(chǎn)效率和質(zhì)量，降低生產(chǎn)成本，提高企業(yè)的競(jìng)爭(zhēng)力。

激光焊接在家電廚衛(wèi)產(chǎn)品的焊接具有高的深寬比，焊縫寬度、熱影響區(qū)、變形小，焊接速度快；焊縫平整美觀、焊后無需處理或只需簡(jiǎn)單處理工

激光切割工藝以及激光切割機(jī)設(shè)備正在被廣大板材加工企業(yè)所熟悉接受，并以其加工效率高、加工精度高、切割斷面質(zhì)量好、可進(jìn)行三維切割加

從油墨到激光，從激光到互聯(lián)網(wǎng)+，經(jīng)過數(shù)十年的發(fā)展，激光打標(biāo)技術(shù)已經(jīng)越來越趨于成熟。目前，大族激光的飛行打標(biāo)技術(shù)處于全國(guó)領(lǐng)先水平

交通物流行業(yè)是現(xiàn)代化經(jīng)濟(jì)體系的重要組成部分，承擔(dān)著物品流通的重要任務(wù)。隨著科技的發(fā)展，激光技術(shù)逐漸被應(yīng)用于交通物流行業(yè)，為行業(yè)

針對(duì)紡織機(jī)械生產(chǎn)需求，激光切割機(jī)加工范圍可涵蓋0-25mm金屬板材加工，同時(shí)對(duì)于一些需要鉆孔的工件，在沒有形成批量生產(chǎn)的情況下

在汽車行業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈中，激光技術(shù)應(yīng)用集中主要在中下游，目前新能源汽車市場(chǎng)還處在高速增長(zhǎng)期.....

選擇國(guó)家/地區(qū)

SiC激光退火設(shè)備

產(chǎn)品應(yīng)用

產(chǎn)品參數(shù)

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國(guó)家能源局新能源和可再生能源司新能源處處長(zhǎng)邢翼騰：“在過去的一年里，中國(guó)的光伏行業(yè)立足于新發(fā)展階段，產(chǎn)業(yè)優(yōu)勢(shì)持續(xù)增強(qiáng)，依舊保持

深圳市大族半導(dǎo)體裝備科技有限公司主要研究應(yīng)用于硅、碳化硅、砷化鎵、氮化鎵、陶瓷、藍(lán)寶石、玻璃、柔性薄膜和金屬等材料的加工工藝，

大族數(shù)控是全球PCB專用生產(chǎn)設(shè)備領(lǐng)域工序解決方案布局最為廣泛的企業(yè)之一；覆蓋常規(guī)剛性多層板、高密度互聯(lián)板(HDI)、類載板(S

激光作為一種新型技術(shù)，具有精度高、速度快、不對(duì)基體造成損害等特點(diǎn)，在電子信息產(chǎn)品生產(chǎn)過程中，激光技術(shù)在產(chǎn)品的體積優(yōu)化以及品質(zhì)提

激光切割在機(jī)械五金行業(yè)的應(yīng)用方案非常廣泛，可以在不同的領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)不同的功能，提高生產(chǎn)效率和質(zhì)量，降低生產(chǎn)成本，提高企業(yè)的競(jìng)爭(zhēng)力。

激光焊接在家電廚衛(wèi)產(chǎn)品的焊接具有高的深寬比，焊縫寬度、熱影響區(qū)、變形小，焊接速度快；焊縫平整美觀、焊后無需處理或只需簡(jiǎn)單處理工

激光切割工藝以及激光切割機(jī)設(shè)備正在被廣大板材加工企業(yè)所熟悉接受，并以其加工效率高、加工精度高、切割斷面質(zhì)量好、可進(jìn)行三維切割加

從油墨到激光，從激光到互聯(lián)網(wǎng)+，經(jīng)過數(shù)十年的發(fā)展，激光打標(biāo)技術(shù)已經(jīng)越來越趨于成熟。目前，大族激光的飛行打標(biāo)技術(shù)處于全國(guó)領(lǐng)先水平

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針對(duì)紡織機(jī)械生產(chǎn)需求，激光切割機(jī)加工范圍可涵蓋0-25mm金屬板材加工，同時(shí)對(duì)于一些需要鉆孔的工件，在沒有形成批量生產(chǎn)的情況下

在汽車行業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈中，激光技術(shù)應(yīng)用集中主要在中下游，目前新能源汽車市場(chǎng)還處在高速增長(zhǎng)期.....

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國(guó)家能源局新能源和可再生能源司新能源處處長(zhǎng)邢翼騰：“在過去的一年里，中國(guó)的光伏行業(yè)立足于新發(fā)展階段，產(chǎn)業(yè)優(yōu)勢(shì)持續(xù)增強(qiáng)，依舊保持

深圳市大族半導(dǎo)體裝備科技有限公司主要研究應(yīng)用于硅、碳化硅、砷化鎵、氮化鎵、陶瓷、藍(lán)寶石、玻璃、柔性薄膜和金屬等材料的加工工藝，

大族數(shù)控是全球PCB專用生產(chǎn)設(shè)備領(lǐng)域工序解決方案布局最為廣泛的企業(yè)之一；覆蓋常規(guī)剛性多層板、高密度互聯(lián)板(HDI)、類載板(S

激光作為一種新型技術(shù)，具有精度高、速度快、不對(duì)基體造成損害等特點(diǎn)，在電子信息產(chǎn)品生產(chǎn)過程中，激光技術(shù)在產(chǎn)品的體積優(yōu)化以及品質(zhì)提

激光切割在機(jī)械五金行業(yè)的應(yīng)用方案非常廣泛，可以在不同的領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)不同的功能，提高生產(chǎn)效率和質(zhì)量，降低生產(chǎn)成本，提高企業(yè)的競(jìng)爭(zhēng)力。

激光焊接在家電廚衛(wèi)產(chǎn)品的焊接具有高的深寬比，焊縫寬度、熱影響區(qū)、變形小，焊接速度快；焊縫平整美觀、焊后無需處理或只需簡(jiǎn)單處理工

激光切割工藝以及激光切割機(jī)設(shè)備正在被廣大板材加工企業(yè)所熟悉接受，并以其加工效率高、加工精度高、切割斷面質(zhì)量好、可進(jìn)行三維切割加

從油墨到激光，從激光到互聯(lián)網(wǎng)+，經(jīng)過數(shù)十年的發(fā)展，激光打標(biāo)技術(shù)已經(jīng)越來越趨于成熟。目前，大族激光的飛行打標(biāo)技術(shù)處于全國(guó)領(lǐng)先水平

交通物流行業(yè)是現(xiàn)代化經(jīng)濟(jì)體系的重要組成部分，承擔(dān)著物品流通的重要任務(wù)。隨著科技的發(fā)展，激光技術(shù)逐漸被應(yīng)用于交通物流行業(yè)，為行業(yè)

針對(duì)紡織機(jī)械生產(chǎn)需求，激光切割機(jī)加工范圍可涵蓋0-25mm金屬板材加工，同時(shí)對(duì)于一些需要鉆孔的工件，在沒有形成批量生產(chǎn)的情況下

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