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LPCVD 鍍膜機(jī)

產(chǎn)品特點(diǎn) 1.成熱的高產(chǎn)能工藝、雙模溫度控制技術(shù)、薄膜硅保護(hù)技術(shù):
2.具備多種鍍膜技術(shù)：多層復(fù)合膜，摻雜多晶硅技術(shù);
3.專利快速降溫爐體：最新專利技術(shù)使?fàn)t體溫度快速降到所需溫度，降溫速率提升25%以上，明顯提升爐管內(nèi)溫度均勻性；
4.快速自適應(yīng)壓力閉環(huán)控制技術(shù)；
5.架構(gòu)完整，性能突出的MES/CCRM系統(tǒng)；
6.一體化工控機(jī)+模塊化工藝控制軟件；
7.全面的停電安全處理和法蘭水異常保護(hù)。

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產(chǎn)品應(yīng)用

適用于半導(dǎo)體和光伏領(lǐng)域，針對于光伏領(lǐng)域TOPCon工藝電池，LPCVD設(shè)備可一站式完成隧穿氧化層/Poly層的制備。熱氧和淀積Poly層兩個工藝合二為一能夠大幅度提高產(chǎn)能，同時兼容i/d -Poly生長工藝。

產(chǎn)品參數(shù)

項(xiàng)目	技術(shù)指標(biāo)
成膜種類	SiOx, i/d-Poly-Si
裝片尺寸	垂直裝片方式：2880片/批(182mm),2200片/批(210mm)
膜厚均勻性	Si0x均勻性：厚度1-3nm可調(diào)，精度0.1nm,用拋光片測試SiOx厚度； Poly均勻性：厚度50-200nm可調(diào)，精度1nm,用拋光片測試Poly厚度，片內(nèi)：≤4%,;片間≤4%;批間≤3%(>100nm時)
UP-TIME	≥95%
工作溫度范圍	400-750℃
溫度控制	6點(diǎn)控溫，內(nèi)外雙?？刂?/span>
升溫方式	自動斜率升溫及快速恒溫功能
降溫方式	最新專利技術(shù)，6溫區(qū)分段控制主動降溫爐體
恒溫區(qū)精度及長度	±1℃/2800mm(550-700℃)
單點(diǎn)溫度穩(wěn)定度	1±℃/6H
升溫時間	RT→750℃≤45min
降溫速率	≥5℃/min
溫度控制	雙模精確控制
系統(tǒng)極限真空度	<3Pa
系統(tǒng)漏氣率	停泵關(guān)閥后壓力升率<2Pa/min
壓力控制方式	快速調(diào)整全自動閉環(huán)
工藝控制式	工藝過程全自動控制，多重安全連鎖報(bào)警
人機(jī)交互界面	LCD顯示、觸摸操作、工藝編輯、在線監(jiān)控、權(quán)限管理、班組管理、組網(wǎng)功能
MES/CCRM	具有

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解決方案

新能源行業(yè)已發(fā)展成為全球經(jīng)濟(jì)支柱產(chǎn)業(yè)，為更好地提供新能源產(chǎn)業(yè)鏈服務(wù)，向新能源行業(yè)縱深方向延伸，積極主動地融入新能源時代發(fā)展潮流

國家能源局新能源和可再生能源司新能源處處長邢翼騰：“在過去的一年里，中國的光伏行業(yè)立足于新發(fā)展階段，產(chǎn)業(yè)優(yōu)勢持續(xù)增強(qiáng)，依舊保持

深圳市大族半導(dǎo)體裝備科技有限公司主要研究應(yīng)用于硅、碳化硅、砷化鎵、氮化鎵、陶瓷、藍(lán)寶石、玻璃、柔性薄膜和金屬等材料的加工工藝，

大族數(shù)控是全球PCB專用生產(chǎn)設(shè)備領(lǐng)域工序解決方案布局最為廣泛的企業(yè)之一；覆蓋常規(guī)剛性多層板、高密度互聯(lián)板(HDI)、類載板(S

激光作為一種新型技術(shù)，具有精度高、速度快、不對基體造成損害等特點(diǎn)，在電子信息產(chǎn)品生產(chǎn)過程中，激光技術(shù)在產(chǎn)品的體積優(yōu)化以及品質(zhì)提

激光切割在機(jī)械五金行業(yè)的應(yīng)用方案非常廣泛，可以在不同的領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)不同的功能，提高生產(chǎn)效率和質(zhì)量，降低生產(chǎn)成本，提高企業(yè)的競爭力。

激光焊接在家電廚衛(wèi)產(chǎn)品的焊接具有高的深寬比，焊縫寬度、熱影響區(qū)、變形小，焊接速度快；焊縫平整美觀、焊后無需處理或只需簡單處理工

激光切割工藝以及激光切割機(jī)設(shè)備正在被廣大板材加工企業(yè)所熟悉接受，并以其加工效率高、加工精度高、切割斷面質(zhì)量好、可進(jìn)行三維切割加

從油墨到激光，從激光到互聯(lián)網(wǎng)+，經(jīng)過數(shù)十年的發(fā)展，激光打標(biāo)技術(shù)已經(jīng)越來越趨于成熟。目前，大族激光的飛行打標(biāo)技術(shù)處于全國領(lǐng)先水平

交通物流行業(yè)是現(xiàn)代化經(jīng)濟(jì)體系的重要組成部分，承擔(dān)著物品流通的重要任務(wù)。隨著科技的發(fā)展，激光技術(shù)逐漸被應(yīng)用于交通物流行業(yè)，為行業(yè)

針對紡織機(jī)械生產(chǎn)需求，激光切割機(jī)加工范圍可涵蓋0-25mm金屬板材加工，同時對于一些需要鉆孔的工件，在沒有形成批量生產(chǎn)的情況下

在汽車行業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈中，激光技術(shù)應(yīng)用集中主要在中下游，目前新能源汽車市場還處在高速增長期.....

選擇國家/地區(qū)

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產(chǎn)品應(yīng)用

產(chǎn)品參數(shù)

解決方案

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國家能源局新能源和可再生能源司新能源處處長邢翼騰：“在過去的一年里，中國的光伏行業(yè)立足于新發(fā)展階段，產(chǎn)業(yè)優(yōu)勢持續(xù)增強(qiáng)，依舊保持

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激光切割工藝以及激光切割機(jī)設(shè)備正在被廣大板材加工企業(yè)所熟悉接受，并以其加工效率高、加工精度高、切割斷面質(zhì)量好、可進(jìn)行三維切割加

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國家能源局新能源和可再生能源司新能源處處長邢翼騰：“在過去的一年里，中國的光伏行業(yè)立足于新發(fā)展階段，產(chǎn)業(yè)優(yōu)勢持續(xù)增強(qiáng)，依舊保持

深圳市大族半導(dǎo)體裝備科技有限公司主要研究應(yīng)用于硅、碳化硅、砷化鎵、氮化鎵、陶瓷、藍(lán)寶石、玻璃、柔性薄膜和金屬等材料的加工工藝，

大族數(shù)控是全球PCB專用生產(chǎn)設(shè)備領(lǐng)域工序解決方案布局最為廣泛的企業(yè)之一；覆蓋常規(guī)剛性多層板、高密度互聯(lián)板(HDI)、類載板(S

激光作為一種新型技術(shù)，具有精度高、速度快、不對基體造成損害等特點(diǎn)，在電子信息產(chǎn)品生產(chǎn)過程中，激光技術(shù)在產(chǎn)品的體積優(yōu)化以及品質(zhì)提

激光切割在機(jī)械五金行業(yè)的應(yīng)用方案非常廣泛，可以在不同的領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)不同的功能，提高生產(chǎn)效率和質(zhì)量，降低生產(chǎn)成本，提高企業(yè)的競爭力。

激光焊接在家電廚衛(wèi)產(chǎn)品的焊接具有高的深寬比，焊縫寬度、熱影響區(qū)、變形小，焊接速度快；焊縫平整美觀、焊后無需處理或只需簡單處理工

激光切割工藝以及激光切割機(jī)設(shè)備正在被廣大板材加工企業(yè)所熟悉接受，并以其加工效率高、加工精度高、切割斷面質(zhì)量好、可進(jìn)行三維切割加

從油墨到激光，從激光到互聯(lián)網(wǎng)+，經(jīng)過數(shù)十年的發(fā)展，激光打標(biāo)技術(shù)已經(jīng)越來越趨于成熟。目前，大族激光的飛行打標(biāo)技術(shù)處于全國領(lǐng)先水平

交通物流行業(yè)是現(xiàn)代化經(jīng)濟(jì)體系的重要組成部分，承擔(dān)著物品流通的重要任務(wù)。隨著科技的發(fā)展，激光技術(shù)逐漸被應(yīng)用于交通物流行業(yè)，為行業(yè)

針對紡織機(jī)械生產(chǎn)需求，激光切割機(jī)加工范圍可涵蓋0-25mm金屬板材加工，同時對于一些需要鉆孔的工件，在沒有形成批量生產(chǎn)的情況下

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