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002008
一、項(xiàng)目基本情況:
項(xiàng)目編號(hào):DZZB20230301
項(xiàng)目名稱:橢偏儀采購(gòu)項(xiàng)目
項(xiàng)目地點(diǎn):深圳(交貨地點(diǎn)為蘇州)
項(xiàng)目要求:異質(zhì)結(jié)PVD項(xiàng)目中心檢測(cè)膜層厚度以及折射率的測(cè)試等
此次招標(biāo)項(xiàng)目的設(shè)備清單如下:
序 號(hào) | 設(shè)備 名稱 | 詳細(xì)參數(shù) | 需求 數(shù)量 | 單位 | ||
1 | 橢 偏 儀 | 技 術(shù) 參 數(shù) | 功能 | 1、測(cè)量樣品包括玻璃/硅片等,表面是粗糙的或者平整的。 2、膜層包括單層或多層膜。 3、測(cè)量參數(shù)包括膜厚、折射率n 和消光系數(shù)k。 | 1 | 臺(tái) |
波長(zhǎng)范圍 | 全光譜測(cè)量,波長(zhǎng)范圍245-930nm,波長(zhǎng)范圍更廣也可以。 | |||||
入射角 | 40°-90°可手動(dòng)調(diào)節(jié),5°步進(jìn)性。 | |||||
膜厚精度 | <0.5nm(基于標(biāo)準(zhǔn)片) | |||||
折射率精度 | <0.003(基于標(biāo)準(zhǔn)片) | |||||
膜厚重復(fù)性要求 | <0.5A(1 sigma基于標(biāo)準(zhǔn)片,10times) | |||||
折射率重復(fù)性要求 | 0.0005(1 sigma基于標(biāo)準(zhǔn)片,10times) | |||||
標(biāo)片數(shù)量 | 1片: SiO2 On Sicr 免清洗 | |||||
測(cè)量范圍 | 膜厚: 0.1nm-20μm | |||||
硬 件 配 置 | 載物臺(tái) | 1、自由可切換的水平 傾斜載物臺(tái) 電池片正反面測(cè)試無(wú)需更換臺(tái)面。 | ||||
光譜儀 | 1、背照式CCD 光譜儀,光譜范圍190nm-1100nm | |||||
光纖光源 | 光源壽命至少達(dá)到2000小時(shí),光源波動(dòng)<0.5%,光學(xué)器件使用壽命>10年(供應(yīng)商須免費(fèi)提供3個(gè)光源作為備品備件) | |||||
自動(dòng)對(duì)焦 | 高精度高斯對(duì)焦模塊,采用與測(cè)試系統(tǒng)相同光路,有效保證對(duì)焦的準(zhǔn)確性,精度可達(dá)0.0001mm,軟件可選全自動(dòng)對(duì)焦或手動(dòng)對(duì)焦或不對(duì)焦。 | |||||
PC | 工控機(jī) I5以上處理器;雙硬盤:固態(tài)硬盤256G存儲(chǔ)空間,機(jī)械硬盤1T存儲(chǔ)空間;8G內(nèi)存,正版Windows操作系統(tǒng) 21寸顯示器 | |||||
UPS | 標(biāo)配 | |||||
軟硬件 | 分級(jí)控制,全部參數(shù)頂級(jí)權(quán)限開(kāi)放給客戶自由設(shè)置 | |||||
軟 件 配 置 | 軟件 | 具備一鍵測(cè)試能力,軟件永久免費(fèi)升級(jí),永久免費(fèi)建模 | ||||
層級(jí) | 分工程師、操作員、設(shè)備管理等不同層級(jí)方便設(shè)備的管理 | |||||
操作便利性 | 可無(wú)限制的編輯波長(zhǎng)范圍,擬合區(qū)間,軟硬件相關(guān)參數(shù),數(shù)據(jù)庫(kù)處理,模型導(dǎo)入等任意操作 | |||||
測(cè)量 | 1、系統(tǒng)校準(zhǔn) | |||||
測(cè)量結(jié)果輸出 | 1、可提供 Dispersion Roughness等分析模型, |
二、投標(biāo)人的資格要求:
1、具備該產(chǎn)品生產(chǎn)資質(zhì)或者合格代理資質(zhì),能有效提供售后服務(wù);
2、須接受簽訂大族《供應(yīng)商合作文件》、《廉潔交易協(xié)議》;
3、必須能提供增值稅專用發(fā)票;
4、注冊(cè)地址為國(guó)內(nèi);
5、須提供以下資質(zhì)證明文件:
(1)營(yíng)業(yè)執(zhí)照;
(2)銀行開(kāi)戶許可證;
(3)經(jīng)營(yíng)范圍必須涵蓋所投標(biāo)產(chǎn)品;
(4)投標(biāo)方須提供經(jīng)營(yíng)場(chǎng)所的租賃合同或房產(chǎn)證復(fù)印件;
(5)產(chǎn)品資料說(shuō)明書;
(6)投標(biāo)人認(rèn)為有必要提供的聲明及其他資質(zhì)證明文件。
(以上文件復(fù)印件均需加蓋企業(yè)公章)
三、評(píng)標(biāo)標(biāo)準(zhǔn):
鑒于我公司按功能參數(shù)要求進(jìn)行招標(biāo),在開(kāi)標(biāo)時(shí)以投標(biāo)方投標(biāo)文件為主(必須隨附產(chǎn)品資料,未提供的作廢標(biāo)處理),確認(rèn)投標(biāo)產(chǎn)品是否滿足我司需求,綜合交期、價(jià)格、付款方式折換成“綜合價(jià)格”進(jìn)行評(píng)比。
細(xì)則:
(1)按投標(biāo)價(jià)格進(jìn)行計(jì)算。
(2)綜合價(jià)格=投標(biāo)價(jià)格*交期系數(shù)*付款方式系數(shù)。
(3)交期系數(shù):交期為合同簽訂后90天內(nèi)的,交期系數(shù)為100%;交期為合同簽訂后80天內(nèi)的,交期系數(shù)為99%;交期為合同簽訂后70天內(nèi)的,交期系數(shù)為98%;交期超過(guò)合同簽訂后90天內(nèi)的,廢標(biāo)。
(4)付款方式系數(shù):合同簽訂后預(yù)付50%,驗(yàn)收合格后付40%,質(zhì)保金10%一年后付款,該系數(shù)為97%;合同簽訂后預(yù)付50%,發(fā)貨前支付30%,驗(yàn)收合格后付余款,該系數(shù)為98%;合同簽訂后預(yù)付50%,發(fā)貨前支付40%,驗(yàn)收合格后付余款,該系數(shù)為99%;合同簽訂后預(yù)付50%,發(fā)貨前支付50%,該系數(shù)為100%;付款方式不符合要求的,廢標(biāo)。
按如上標(biāo)準(zhǔn)評(píng)選出中標(biāo)供應(yīng)商及備用供應(yīng)商各一名。如中標(biāo)供應(yīng)商不能履行合同約定,則啟用備用供應(yīng)商。
四、樣品試用:
中標(biāo)供應(yīng)商須提供標(biāo)準(zhǔn)樣塊(包含樣塊標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)),通過(guò)標(biāo)準(zhǔn)樣測(cè)試結(jié)果和標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)進(jìn)行比對(duì),評(píng)估儀器測(cè)量精度、重復(fù)性等核心性能,比對(duì)后符合要求方能簽訂采購(gòu)合同。
試用樣塊需滿足以下要求:膜厚精度<0.5nm(基于標(biāo)準(zhǔn)片),折射率精度<0.003(基于標(biāo)準(zhǔn)片),膜厚重復(fù)性要求<0.5A(1 sigma基于標(biāo)準(zhǔn)片,10times),折射率重復(fù)性要求0.0005(1 sigma基于標(biāo)準(zhǔn)片,10times)
五、投標(biāo)時(shí)間/地點(diǎn)安排:
項(xiàng)目報(bào)名時(shí)間:2023年3月21日10:00 時(shí)至2023年4月3日16:00 時(shí)
現(xiàn)延遲項(xiàng)目報(bào)名截止時(shí)間至:2023年4月7日18:00時(shí)
投標(biāo)文件遞交截止時(shí)間:2023年4月4日12:00 時(shí)
現(xiàn)延遲投標(biāo)文件遞交截止時(shí)間至:2023年4月10日18:00時(shí)
項(xiàng)目開(kāi)標(biāo)時(shí)間:2023年4月11日14:30 時(shí)
開(kāi)標(biāo)地點(diǎn):深圳市寶安區(qū)福永街道重慶路12號(hào)大族激光全球智造基地4棟
有意者請(qǐng)聯(lián)系我公司招標(biāo)部,索取詳細(xì)的招標(biāo)書及投標(biāo)模板。
六、對(duì)本次招標(biāo)提出詢問(wèn),請(qǐng)按以下方式聯(lián)系:
聯(lián)系人:線永偉
聯(lián)系電話:0755-86161397
聯(lián)系郵箱:xianyw@hanslaser.com;
聯(lián)系人:李長(zhǎng)娟
聯(lián)系電話:0755-86632735
聯(lián)系郵箱:licj145372@hanslaser.com
大族激光科技產(chǎn)業(yè)集團(tuán)股份有限公司
集采中心-招標(biāo)部
2023年4月6日