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002008
此款激光器產(chǎn)品,采用先進(jìn)的啁啾脈沖放大技術(shù),實(shí)現(xiàn)近衍射極限的飛秒激光輸出,在半導(dǎo)體和消費(fèi)類電子領(lǐng)域已經(jīng)批量使用,工藝優(yōu)良,穩(wěn)定性好。
產(chǎn)品應(yīng)用:
1)切割,鉆孔,劃線(玻璃,硅,陶瓷,柔性電路板);
2) 薄膜圖案(金屬,薄膜);
3)打標(biāo)(玻璃,硅,陶瓷,金屬,塑料)。
序號(hào) | 參數(shù) | 規(guī)格 | 備注 |
1 | 運(yùn)行模式 | 脈沖 | |
2 | 平均功率(W) | 50w@600kHz | 20w@100kHz |
3 | 中心波長(zhǎng)(nm) | 1030 | |
4 | 線寬(nm) | <3 | 3dB線寬 |
5 | 重復(fù)頻率(kHz) | 50-2000 | 可調(diào) |
6 | 脈沖寬度(fs) | 600-30000fs | 可定制 |
7 | 最大單脈沖能量(uJ) | 200 | |
8 | 功率調(diào)節(jié)范圍(%) | 0-100 | |
9 | 響應(yīng)時(shí)間(us) | <100 | |
10 | 光束質(zhì)量(M2) | ≤1.3 | |
11 | 功率穩(wěn)定性(%) | ≤2% | 24h |
12 | 光斑大?。╩m) | 2.5±0.3 | 1/e2 |
13 | 光斑橢圓率(%) | >90 | Typ.93% |
14 | 光束偏移量(mm) | <1.0 | |
15 | 光束發(fā)散角(mrad) | <0.5 |